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客户案例CASE
ROR体育AMHS自动物料搬运系统行业研究
添加时间:2024-03-28 08:51:02

  ROR体育外企垄断。目前半导体AMHS行业的全球市场主要被日本大福、日本村田机械、韩国三星子公司SEMES等公司垄断。新兴的国产AMHS厂商进入半导体领域有极高的门槛,这是由于晶圆厂的AMHS系统一旦出现故障将会影响整体产线的运营,会造成巨额损失(单日损失上千万美元),目前阶段晶圆厂出于谨慎原则较难选用国产AMHS厂商。

  但随着外部政治环境的变化,AMHS是否被“卡脖子”存在一定变数,因此,国产替代已经成为很多晶圆厂的选择,包括对国内厂商进行技术评估,提供小范围的Demo测试机会等。

  国产AMHS厂商地面方案多,而天车方案少。AMHS地面方案使用的AGV/AMR物流装备在半导体行业应用广泛,随着国产AGV/AMR企业在光伏、面板、电池等领域的经验积累,现也逐渐切入半导体赛道,对于国产AMHS地面方案而言,竞争将会逐渐激烈。目前8寸晶圆厂中仅部分应用OHT天车方案,运输的主要任务还是由人力或地面方案完成,原因是AMHS天车方案成本极高,国产厂商仍处于初期阶段,目前仅个别几家晶圆厂测试国产AMHS天车方案ROR体育,并发出试验性订单,暂无一家国产厂家形成规模销售。

  2. 市场规模根据2022-2025年大陆地区已公布的晶圆厂投资扩产计划,4年间晶圆厂(8寸和12寸)的平均设备投入资金约1732亿/年。根据12寸晶圆厂采购一套完整的AMHS系统(包括软件+硬件)约占晶圆厂设备投资总额的3%,可以预计,未来4年内,国内晶圆厂AMHS系统平均的市场需求约为52亿元/年。

  根据SEMI数据,全球市场对12寸硅片的需求量持续上涨,硅片由8寸向12寸转移的趋势明显。大尺寸硅片可提升生产效率及成品率(12寸比8寸的单片硅片可生产芯片数量提升2.64倍),降低生产成本(12寸比8寸的平摊单片芯片的加工成本以及时间成本减少约30%),提升设备的重复利用率。根据SUMCO预测,2026年全球12寸硅片需求量将达到1100万片/月,CAGR为8.4%。

  相比8寸晶圆厂,12寸晶圆产线的工艺更加复杂,对AMHS的需求也更为迫切。在物料搬运自动化方面,8寸晶圆厂的一些老旧设备不支持全自动化,部分晶圆厂仍采用人工方式进行物料搬运,而12寸晶圆尺寸大质量重价值量高,长期人工搬运对良率的影响更大ROR体育。设备方面,12寸设备全部支持SEMI 标准通讯协议,采集数据导入调度系统,数据量和稳定性对自动化有着更高要求。工序方面,目前12寸厂的光刻层数一般在30-40层,而8寸厂仅需10-30层,12寸晶圆厂更复杂的工艺流程节点需要整场规划扩展性的适配,对于物料搬运系统的自动化需求也更大。同时,出于最大化节省地面空间和降低洁净室成本的目的,12寸晶圆厂对AMHS的需求也更高。

  国内晶圆厂在与大福、村田等进口天车供应商合作时面临技术支持不及时,交期长,价格高等问题,国产替代势在必行。以国家大基金为主的半导体产业扶持战略,助推了一批新兴国产AMHS供应商的成长。但半导体行业出于谨慎考虑,目前国产AMHS天车方案仅在晶圆厂测试线或局部线运行,像华芯装备以及成川科技皆于2021年攻克先进封装领域的AMHS项目,弥费科技和欣奕华则是2022年取得8寸-12寸晶圆厂项目的阶段性进展。随着国产AMHS天车方案的成熟,若任意一家取得标杆性的整厂国产替代,在中国AMHS市场将有较为明显的优势,有望成为国产AMHS第一股。

  永鑫方舟投资团队认为:大尺寸硅片已是趋势,大硅片晶圆厂出于效率和良率的综合考虑,AMHS的天车方案无疑是最佳选择,地面方案的AMR机器人不能取代OHT天车只能作为一种补充,12寸晶圆厂采用OHT天车搬运几乎是标配,所以天车方案在大硅片晶圆制造工序中必不可少。欧美各国都在积极建设新的大尺寸晶圆厂,国外几家AMHS龙头长期处于满产阶段。国内晶圆厂在与大福、村田等进口天车供应商合作时面临技术支持不及时,交期长ROR体育,价格高等问题,国产替代势在必行。国产AMHS厂商从先进封装厂ROR体育,晶圆厂局部测试线等实际场景积累经验,陆续在布局设计能力、材料、软件系统等技术难关实现突破,解决国产天车方案“卡脖子”难题。目前,国内几家AMHS天车方案厂商没有一家完成8寸/12寸整厂的顺利交付,若任意一家取得标杆性的整厂国产替代,将在国内AMHS市场将有较为明显的先发优势。

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